CHEMFISH专注于先进电子材料与精细化学品供应链服务，聚焦ArF PAG、KrF PAG、光刻胶树脂及关键中间体，助力先进半导体制造。

先进材料驱动未来半导体产业

随着人工智能（AI）、高性能计算（HPC）、先进封装（Advanced Packaging）、高带宽存储器（HBM）以及先进显示技术的快速发展，半导体产业对于高性能光刻材料的需求持续增长。

CHEMFISH长期专注于先进电子材料与精细化学品供应链服务，持续布局半导体光刻材料领域，建立了涵盖ArF PAG、KrF PAG、Photoresist Resin、Photoinitiator（PI）以及功能单体和关键中间体的产品平台，为半导体制造、先进封装、显示面板及电子材料行业提供专业解决方案。

 

什么是PAG（Photo Acid Generator）？

PAG（光酸发生剂）是现代光刻胶体系中的关键功能材料。

在193nm（ArF）或248nm（KrF）曝光过程中，PAG吸收光能后释放强酸，进一步引发化学放大反应（Chemical Amplification），最终实现纳米级图形转移。

PAG工作机理

UV Light ↓ PAG ↓ Acid Generation ↓ Chemical Amplification ↓ Pattern Formation

 

产品体系

ArF Photo Acid Generator（ArF PAG）

ArF PAG适用于193nm先进光刻工艺。

主要应用：

• 动态随机存取存储器（DRAM）
• NAND 型闪存（NAND Flash）
• 逻辑芯片 / 逻辑器件（Logic Device）
• 先进封装（Advanced Packaging）

代表产品：

• CAS:  912290-04-1
• CAS:  1228823-28-6
• CAS:  1465790-38-8
• CAS:  1146597-81-0
• CAS:  1638216-03-1

应用优势

• 高分辨率
• 优异线宽控制能力
• 适用于先进逻辑制程
• 适用于先进封装工艺

DRAM

NAND Flash

 

 

Advanced Packaging

Display

 

KrF Photo Acid Generator（KrF PAG）

KrF PAG适用于248nm光刻工艺。

主要应用：

• 功率半导体
• 模拟IC
• MEMS
• 显示驱动芯片（DDIC）

代表产品：

• CAS:  84563-54-2
• CAS:  194999-85-4
• CAS:  66003-78-9
• CAS:  144317-44-2

其中：

84563-54-2

Bis(4-tert-butylphenyl)iodonium trifluoromethanesulfonate

广泛应用于KrF Photoresist体系。

 

 

Photoresist Resin（光刻胶树脂）

CHEMFISH可提供：

• PHS Resin —— 聚羟基苯乙烯树脂
• Acrylic Resin —— 丙烯酸树脂
• BARC Resin —— 底部抗反射涂层树脂
• Functional Copolymer Resin —— 功能性共聚树脂
• Chemically Amplified Resist Resin —— 化学放大光刻胶树脂

主要应用：

• ArF Photoresist — ArF 光刻胶
• KrF Photoresist — KrF 光刻胶
• Display Photoresist — 面板光刻胶（显示光刻胶）
• Advanced Packaging — 先进封装

 

 

Photoinitiator（PI）

主要应用：

• LCD
• OLED
• UV固化体系
• 光学膜
• 电子材料

代表产品：

• CAS:  253585-83-0
• CAS:  82424-53-1
• CAS:  852246-55-0
• CAS:  1138028-44-0

 

 

Functional Monomers & Intermediates

功能单体和关键中间体是构建先进光刻材料的重要基础。

代表产品：

• CAS:  959312-47-1
• CAS:  133710-62-0
• CAS:  1227375-90-7
• CAS:  1035539-18-4

主要应用：

• Photoresist Synthesis — 光刻胶合成
• Functional Polymer — 功能高分子
• Electronic Materials — 电子化学品 / 电子材料

 

应用领域

半导体制造

芯片品类

1. Logic Devices — 逻辑芯片
2. DRAM — 动态随机存取存储器（内存芯片）
3. NAND Flash — NAND 闪存
4. CIS — 图像传感器芯片
5. Advanced Packaging — 先进封装

先进封装细分

1. Fan-Out Packaging — 扇出型封装
2. WLP（Wafer Level Packaging）— 晶圆级封装
3. 2.5D Packaging — 2.5D 封装
4. 3D Packaging — 3D 封装

显示材料

1. LCD — 液晶显示器
2. OLED — 有机发光二极管
3. Micro LED — 微型发光二极管

光学材料

1. Optical Film — 光学膜
2. UV Coating — UV 光固化涂层
3. Functional Coating — 功能涂层

DRAM | NAND Flash | Logic | Advanced Packaging | Display

内存芯片 | NAND 闪存 | 逻辑芯片 | 先进封装 | 显示（面板）

 

为什么选择CHEMFISH

产品平台

• 100+ Lithography Related Materials  百余种光刻相关材料

品质控制

• Semiconductor Grade Quality Control 半导体级品质管控
• Low Metal Impurity Control 低金属杂质管控

技术支持

• TDS
• SDS
• COA
• Sample Support

全球供应链

• 日本
• 中国大陆及台湾
• 韩国
• 欧洲
• 美国

定制开发

• Functional Monomer Development — 功能单体开发
• PAG Customization — 光产酸剂定制开发
• Resin Optimization — 树脂优化

 

关于CHEMFISH

CHEMFISH是一家专注于先进电子材料、半导体材料、氟化学品及精细化学品的国际化供应链服务企业。

服务领域涵盖：

• Semiconductor Manufacturing — 半导体制造
• Advanced Packaging — 先进封装
• Display Industry — 显示行业
• Electronic Materials — 电子材料
• Energy Storage — 储能

致力于为全球客户提供高品质材料与专业技术服务。